光刻机是干什么用的?光刻机与蚀刻机哪个贵?
光刻机是做什么用的,我们手机中的芯片就是光刻机刻的吗?光刻机一共就那么十几台,全球的芯片好几个亿,真刻的过来吗?光刻机与蚀刻机哪个更贵?
2021-04-09
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匿名用户
2021-04-09
光刻机是芯片制造流程中的核心设备,由于用途不同,分为生产芯片的光刻机、用来封装的光刻机和LED领域的投影光刻机。
芯片的制造流程很复杂,可以分为:硅片制备、外延工艺、热氧化、扩散掺杂、离子注入、薄膜制备、光刻、刻蚀和工艺集成等。
光刻工艺是制造流程中最关键的一步,光刻确定了芯片的关键尺寸,在整个制造过程中大约占了整体制造成本的35%。
蚀刻机分为两类,目前主流的是湿刻,还有一类是干刻,湿刻就是特定的化学溶液和光刻机制作后的薄膜发生反应后剩下的东西,就是需要的东西,整个过程有液体接触,所以称为湿刻。
光刻机要更贵一些,一般来说,一架光刻机是7000万美元,而一架刻蚀机是700万美元。
低端光刻机技术与刻蚀机是差不多的,高端光刻机技术会比刻蚀机要高的多;原理上光刻机与刻蚀机难度基本上相等。