晶圆针座是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆针座发展的主要方向。因此,传统的手动针座和半自动针座已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆针座。针座是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。江苏针座加工
将晶圆针座的输入输出针座垫片(I/O pads)放在接脚和针座正确对应的晶圆后,针座会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的针座接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到针座下面,如此周而复始地循环着。半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:参数探测:提供制造期间的装置特性测量;晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;以针座为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。江苏针座加工针座虚焊和布线断线或短路,测试时都要测不稳。
针座可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及针座座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。针座是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到针座载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转针座座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部针座(射频或直流针座),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
下面我们来简单讲讲选择针座设备时需要注意事项:一、机械加工精度;二、电学量测精度三、环境要求,如:真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像;五、自动化控制精度。总体而言,具有清晰并高景深的微观成像,再通过准确的针座装置对针座进行多方向移动,对准量测点,进行信号加载,通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表,以达到所需得到的分析数据,所以,如果想得到高质量的分析数据,从成像到点针,再到数据传输每项步骤都会起到重要的作用,另外振动对精度也有一定的影响。针座尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。
某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路.某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路.所以平时我们操作时应找准接触点,把过行程设置为2~4MILS或70~100UM时,每个压点都有很清楚的针迹,然后再把过行程设置为0时,看清楚每个压点上都有轻轻的针迹,如果某些压点上没有针迹,就需要用镊子把这根针压下,如果某些压点上针迹太重,而需要有镊子把这根针往上抬一下,使针尖的高度差调在30UM以内,然后做接触检查,每根针与压点接触电阻应小于0.5欧姆,样片/样管测试是否OK,合格、失效管芯各测10遍,看重复性与稳定性。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。江苏针座加工
针座可编程承片台则安装在动子之上。江苏针座加工
近来出现的一种选择是使用同轴射频电缆安装针座,它结合了针座准确性和可重复性的功能以及用针座可及性的功能。这些针座的边缘类似于针座针座夹具——接地-信号-接地(GSG)或者接地-信号(GS)——一端带有pogo-pin针座,另一端带有典型的同轴连接器。这些新型针座可以达到40 GHz,回波损耗优于10 dB。针座的针距范围在800微米到1500微米之间,这些针座通常使用的终端是3.5毫米母头或2.92毫米母头同轴连接器。与针座一样,可以在特定的测试区域中设计一个影响小的焊盘端口,或者可以将针座放置在靠近组件的端子或微带传输线上。江苏针座加工
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