如果与栅极线布置在相同方向上的金属线的节距与栅极线的节距不同，则一些金属轨道由于由不同的节距引起的混叠而不可用，并且设计受到限制。为了解决这些问题，示例实施例提供了在同一方向上延伸的栅极线和金属线的有效线路结构，以便使在制造工艺中设置的栅极线和金属线的资源大化。根据示例实施例的集成电路以及制造和设计所述集成电路的方法可以通过单元线路结构来提高集成电路的设计效率和性能。上述导电层可以称为列导电层，上述金属线可以称为列金属线。列金属线可以是在某一方向上(例如，在第二方向上)延伸的金属线，并且“列”不限于特定方向。图2是根据示例实施例的集成电路的截面图，图3是根据示例实施例的集成电路的图。参照图2和图3，集成电路包括半导体基底(未示出)、多条栅极线gl1至gl4n和多条金属线ml1至ml6n。多条栅极线gl1至gl4n形成在半导体基底上方的栅极层gtl中。多条栅极线gl1至gl4n布置在方向x上并在垂直于方向x的第二方向y上延伸。多条金属线ml1至ml6n形成在栅极层gtl上方的列导电层ccl中。多条金属线ml1至ml6n布置在方向x上并在第二方向y上延伸。栅极线gl1至gl4n中的至少一条可以被切割为栅极段。上海海谷电子有限公司致力于提供电子料回收，有想法的不要错过哦！海南废弃电子料回收服务
同样的附图标记始终表示同样的元件。可以省略重复的描述。在下文中，在三维空间中使用方向x、第二方向y和第三方向z描述根据示例实施例的集成电路的结构。方向x可以是行方向，第二方向y可以是列方向，第三方向z可以是竖直方向。方向x、第二方向y和第三方向z可以交叉，例如，可以彼此正交或垂直。图1是示出制造集成电路的方法的流程图。参照图1，在半导体基底上方的栅极层中形成多条栅极线，其中，所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸(s100)。在栅极层上方的导电层中形成多条金属线，其中，所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸，使得6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构，其中，n是正整数，并且多个单元线路结构布置在方向上(s200)。根据示例实施例，可以通过自对准双倍图案化(sadp)或自对准四倍图案化(saqp)形成多条金属线。sadp和saqp是制造技术。此外，根据示例实施例，可以通过单图案化(即，直接图案化)、sadp或saqp形成多条栅极线。单图案化也是制造技术。下面将参照图4a至图4i描述单图案化、sadp和saqp。在一些实施例中，单元线路结构对应于未被划分为至少两个相等的子线路结构的小单元结构。在一些示例实施例中。海南废弃电子料回收服务电子料回收，请选择上海海谷电子有限公司，有想法的可以来电咨询！
和/或金属线ml1至ml6n中的至少一条可以被切割为金属段。如图2和图3中所示，6n条金属线ml1至ml6n和4n条栅极线gl1至gl4n可以形成单元线路结构uws，并且多个单元线路结构uws可以布置在方向x上。多条金属线ml1至ml6n之中的在方向x上顺序地相邻的每三条金属线之间的两个金属节距可以彼此不同。例如，在方向x上相邻的金属线ml1、第二金属线ml2和第三金属线ml3之间的金属节距pma和第二金属节距pmb可以彼此不同。以相同的方式，在方向x上相邻的第二金属线ml2、第三金属线ml3和第四金属线ml4之间的第二金属节距pmb和第三金属节距pmc可以彼此不同。金属节距pma和第三金属节距pmc可以彼此相同或不同。在一些示例实施例中，每个单元线路结构uws可以包括六条金属线和四条栅极线。在这种情况下，每个单元线路结构uws的六条金属线可以通过sadp形成。下面将参照图5、图6和图7描述sadp的示例实施例。在一些示例实施例中，每个单元线路结构uws可以包括十二条金属线和八条栅极线。在这种情况下，每个单元线路结构uws的十二条金属线可以通过saqp形成。下面将参照图8、图9和图10描述saqp的示例实施例。通常，多个导电层可以布置在栅极层gtl上方。
图8的流程图说明根据本公开的一些实施例的基于图6的迭代流程的图5的一预测阶段。图9是根据本公开的一些实施例的图3的机器学习电路的电路图。图10是根据本公开的一些实施例的图9的测量电路的电路图。图11是根据本公开的一些实施例的图9的分类器电路的电路图。图12的示意图说明根据本公开的一些实施例的图9的分类器电路在图5的训练阶段的示例性操作。图13是根据本公开的一些实施例的信号的回转率的调整方法的流程图。符号说明10集成电路元件12使用者应用端30电路32神经网络34输入36经加权值38结果值40集成电路元件42机器学习电路44使用者界面46互连电路60测量电路70数据库80分类器电路90调整方法92操作94操作96操作98操作102驱动器电路104回转率控制电路120示波器122电压波形124使用者界面200操作202操作204操作206操作208操作310程序312训练阶段314推理/分类阶段316预测阶段500操作502操作504操作600取样保持电路602取样保持电路604减法器800比较器802减法器电路804分压器806加法器电路810反相器812暂存器814乘法器816暂存器din信号dout信号vout实际电压clk时钟信号vl电压v1电压n0节点具体实施方式以下详细讨论本公开的实施方案。然而，应该理解的是。上海海谷电子有限公司是一家专业提供电子料回收的公司，有想法可以来我司咨询！
在图5中的具有n＝1的单元线路结构中，存在六条金属线和四条栅极线。图5包括多个单元线路结构，多个单元线路结构包括图5的左侧的单元线路结构以及图5的右侧的第二单元线路结构，第二单元线路结构在x方向(在此也称为方向x)上与单元线路结构相邻，并且第二单元线路结构的形貌与单元线路结构的形貌相同。参照图6，每个单元线路结构uws2的四条栅极线gl1至gl4可以通过sadp形成。如参照图4a至图4i所述，可以在栅极层gtl上方形成双倍心轴图案dpg1和dpg2。标签“dpg”可以理解如下：“d”表示双倍，“p”表示图案，“g”表示栅极。例如，双倍心轴图案dpg1和dpg2可以在方向x上布置成具有可以等于抗蚀剂图案的节距的相同的双倍心轴节距pdg。在这种情况下，每个单元线路结构uws2的四条栅极线gl1至gl4可以在方向x上布置成交替地具有栅极节距pg11和第二栅极节距pg12。栅极节距pg11和第二栅极节距pg12可以由表达式2表示。表达式2pg11＝wdg+wglpg12＝pdg-(wdg+wgl)在表达式2中，wdg表示双倍心轴图案dpg1和dpg2的宽度，wgl表示栅极线gl1至gl4的宽度。参照图7，每个单元线路结构uws3的四条栅极线gl1至gl4可以通过saqp形成。如参照图4a至图4i所述。电子料回收，请选择上海海谷电子有限公司，让您满意，欢迎新老客户来电！海南废弃电子料回收服务
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所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸，其中，6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构，其中，n是正整数，并且多个单元线路结构布置在方向上。根据示例实施例的集成电路以及制造和设计所述集成电路的方法可以通过单元线路结构提高集成电路的设计效率和性能。附图说明通过以下结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解本公开的示例实施例。图1是示出制造集成电路的方法的流程图。图2是根据示例实施例的集成电路的截面图。图3是根据示例实施例的集成电路的图。图4a至图4i是用于描述根据示例实施例的用于制造集成电路的图案化工艺的示图。图5至图10是根据示例实施例的应用于集成电路的单元线路结构的示例实施例的示图。图11是示出示例标准单元的布图的示图。图12a、图12b和图12c是图11的标准单元的截面图。图13是示出根据示例实施例的设计集成电路的方法的示图。图14是示出根据示例实施例的集成电路的设计系统的框图。图15是示出图14的设计系统的示例操作的流程图。图16是示出根据示例实施例的集成电路的布图的示图。图17是示出根据示例实施例的移动装置的框图。具体实施方式在下文中将参照示出一些示例实施例的附图更地描述各种示例实施例。在附图中。海南废弃电子料回收服务