可在光学近场尺度范围内直接写入表面特征。从这些纳米尺寸孔径射出的光会严重发散高达几十纳米,因此必须精确控制掩模和基板之间的间隙,使其维持在几十纳米之内,这对于确保工艺性能至关重要。图4:近场扫描光刻设备图5:带蝴蝶结形孔的NSOL掩模(底视图)通过用激光依次扫过每个孔,可以直接在基板上构建图像。多轴压电平台用于相对于掩模定位基板。这些平台的位置编码器反馈需要保持在亚纳米级分辨率范围内,因此激光干涉仪型系统更适合进行更精细的调整。传统的高性能光栅可以用于粗调直线电机平台的换向。高精度运动平台的重要性光掩模运动平台是光刻设备的**技术之一,这些先进的运动平台使用包括音圈电机(VCM)在内的多种不同类型的电机执行粗略(>100mm)运动控制和更精细(<2mm)的运动控制。运动命令模式通常是“加速—匀速—减速”类型。典型的掩模平台通常具有六个自由度,要用到多根需要高精度位置反馈的驱动轴。高分辨率、高速度和低延迟的位置编码器是动态平台定位的关键,因为它们可以尽可能增加带宽并降低不稳定性。在这些应用中,编码器的选择至关重要。编码器的周期误差低,则对伺服回路的输入负载干扰较小,从而实现更精细的速度控制。RENISHAW测针苏州雅顿机电科技有限公司现货.泰州品质雷尼绍测针代理商
工程技术领域的跨国公司雷尼绍日前发布增材制造测针,并纳入到雷尼绍的全系列测针产品中。针对无法使用传统制造技术生产的测针,雷尼绍通过采用增材制造(AM)技术—又称金属3D打印技术,提供一站式测针解决方案。雷尼绍自制的增材制造测针可以测量其他测针无法触及的工件特征,为复杂的检测应用提供了灵活、性能优异的解决方案。增材制造技术的一个关键优势是可以快速打印出用户定制产品,而不需传统生产工具下制造测针。大多数情况下,采用增材制造方式生产定制测针组件的交货期比采用传统方式的交货期更短。使用金属粉末床熔融技术生产特殊定制测针,为制造出具有复杂形状和结构的测针提供了新的可能性。钛合金增材制造测针重量轻,结构坚固,可安装在各种测量设备上,能够检测先前无法触及的工件特征。触测内部特征增材制造技术具有制造定制化、坚硬、轻重量和复杂结构的能力,因此日益受到人们的青睐。这项技术可以针对不同应用制造各种具有中空网状结构的**测杆,再无需使用笨重繁琐的转接头和直杆便可得到形状各异的各式测杆。测针的轻巧结构允许在不超过测头承重能力的前提下实现必要的长度和刚性。钛合金是增材制造测针的**材料。泰州品质雷尼绍测针代理商雷尼绍测针苏州雅顿机电科技有限公司有现货.
”Sandvik公司增材制造部门总裁KristianEgeberg说道。平板显示器制造图2:空间光调制器(SLM)成像单元平板显示器(FPD)制造中应用的传统光刻工艺也用于半导体芯片制造。芯片研发的一个主要驱动因素是电子设备尺寸的愈加微型化。另一方面,在FPD行业内,则按照能够制造出的玻璃基板的**大物理尺寸(单位为平方毫米)对每一代制造技术进行分类。例如,第十代(G10)FPD是从2880mm×3080mm的玻璃基板上切割的。薄膜晶体管(TFT)是必不可少的显示器元件,其临界尺寸(CD)接近3微米,在好几代制造工艺中都保持稳定。每一代新产品都可加工出更大的基板,因此必须提高生产率,实现通过单次曝光在基板的更大区域内形成电路图案。有人提出将多透镜系统作为问题解决方案,以覆盖更大区域。然而,FPD行业的一个重大挑战是制造和处理越来越大的光掩模,因为光掩模尺寸必须与基板尺寸成正比。无掩模投射系统逐渐流行,成为FPD生产中的替代技术。其中有这样一种技术,即使用空间光调制器(SLM)以类似于数字印刷的方式直接在基板上刻画图案。例如,一种并行光刻系统,如图3所示,包含呈并行阵列排布的一组SLM成像单元,每个单元又包含一个SLM压模组件、一个球面镜、多个光源和一套投射透镜组件。
**的测量产品制造商雷尼绍继推出QUANTiC增量式直线光栅之后,近日又推出其圆光栅型号——QUANTiC圆光栅,不仅具有更佳的诊断功能兼容性,而且安装和运行公差也极为宽松。QUANTiC圆光栅系统采用栅距为40μm的RESM40圆光栅,并提供多种不同的规格尺寸(直径52mm至直径550mm)。锥面安装式(截面A)圆光栅适用于高精度应用,薄截面(截面B)圆光栅适用于要求低转动惯量的应用,客户可根据需求自行选择。QUANTiC圆光栅的比较高工作速度(回转轴转速)可达8,800rpm,角度分辨率可达角秒。这款新型光栅系统非常适合带有大口径通孔的应用。它不仅具备非常宽松的安装公差,而且可以配用ADT(AdvancedDiagnosticTool——高级诊断工具)进行远程校准和深入诊断,故其安装十分简便。QUANTiC读数头集成有雷尼绍成熟的光学滤波系统,可对多个栅尺周期的读数进行平均,有效滤除脏污等引起的非周期性特征。借助一系列电子信号处理算法,例如AGC(AutoGainControl——自动增益控制)、AOC(AutoOffsetControl——自动偏置控制)和ABC(AutoBalanceControl——自动平衡控制)等,可进一步增强测量信号的精度。QUANTiC光栅还通过新的检测器设计具备了第三层的信号滤波功能。测针RENISHAW 雷尼绍苏州雅顿机电科技有货.
工程技术领域的跨国公司雷尼绍将在2019年汉诺威欧洲机床展(EMO2019)上发布**新非接触式对刀解决方案。全新NC4+Blue系统将成为雷尼绍众多智能工厂制程控制解决方案的一部分。这些解决方案经过市场检验可彻底革新诸多行业机加工车间的生产能力。继2017年汉诺威欧洲机床展(EMO2017)上发布的增强型NC4系列对刀仪大获成功之后,雷尼绍新近开发出NC4+Blue非接触式对刀仪,刀具测量精度再创新高,接刀性能达到工业标准。提高工件精度,缩短循环时间NC4+Blue非接触式对刀仪雷尼绍NC4+Blue系统搭载行业**的蓝色激光技术(已申请专利)和改进的光学装置,刀具测量精度**提高,有助于提升工件的加工精度和效率。与传统非接触式对刀仪所使用的红色激光源相比,蓝色激光的波长更短,可改善衍射效应、优化激光光束几何形态。因此,NC4+Blue系统适用于测量非常小的刀具,并将接刀测量误差降至**小—这是使用多种切削刀具进行加工制程时的一个关键考量因素。NC4+Blue系统还配用雷尼绍**新版非接触式对刀软件包,其中包括采用自动优化技术的全新双重测量模式。这些特性结合在一起,可确保NC4+Blue系统即使在有大量切削液存在的情况下也能快速、可靠地执行刀具测量,为用户节省时间和成本。测针RENISHAW 雷尼绍苏州雅顿机电科技有限公司苏州代理.泰州品质雷尼绍测针代理商
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概述TigercatIndustriesInc.提供市场**的林业设备。随着市场需求日益增长,Tigercat希望提高位于加拿大安大略省剑桥市的生产工厂的效率和产出。通过使用雷尼绍机床测头测量系统与软件进行自动工件找正,Tigercat成功将工件找正时间缩短四分之三,同时将机床有效生产时间增加40%。背景作为一家质量林业设备制造商,Tigercat的定位是提供成本**低的林木采伐解决方案。该公司从位于加拿大安大略省的工厂向世界各地繁忙的采伐作业区出口林业设备。Tigercat拥有深厚的工程底蕴,擅长对各种林业设备进行创新设计和持续改进。Tigercat提供多样化原条和定长切割采伐设备,包括伐木归堆机、集材机、木材装载机、收割机及伐木机。这些机械设备一般重达25吨左右,体积庞大、坚固耐用、性能可靠。由于伐木工人经常需要依靠单台机器连续作业,如Tigercat的drive-to-tree伐木归堆机,因此机器可靠性至关重要。一台机器停机可能会导致整个采伐作业中止。为此,Tigercat将结构坚固、作业时间长、使用寿命久视作关键的产品设计要求。Tigercat在安大略省南部剑桥市的工厂制造其轮式林业设备的大型钢制零部件,其中**主要的是伐木归堆机。自1992年以来,这款设备一直是伐木行业的黄金标准。泰州品质雷尼绍测针代理商