将造粒得到的粉粒体通过70目筛后,使用震动加料机将其填充于升液管模具中并边填入边振动,震动频率为150Hz,然后将所述坩埚模具置于等静压设备中,在200-300MPa的压力下进行冷等静压成型,保持压力100s,脱模后得到升液管生坯。,将所述升液管生胚进压烧结,得到氮化硅升液管。其中,气压烧结的温度为1900℃,气压烧结的压力8MPa。将得到的升液管生坯置于气压烧结炉内,抽真空并通电加热,加热至900℃后,在继续加热的同时,向炉内充入纯度为%的氮气进行加压,加热至1100℃时压力为,保温1h后,继续加热至1400℃,在继续加热的同时,向炉内继续充入纯度为%的氮气进行加压,达到气压烧结的温...