超高真空抽气机组工作在10-5~10-10Pa的超高真空压力范围内,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有:(1)主泵的极限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。(2)在超高真空的工作压力范围内主泵应具有一定的抽速。(3)机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃的高温烘烤。(4)来自主泵的返流气体(包括工作液蒸气及解析的气体)的分压力足够低。(5)对被抽气体选择性强的主泵,要配备足够大的辅助泵。(6)机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,对材料的选择和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和金属密封材料,以耐高温烘烤...
罗茨泵多用在罗茨水环真空机组中,它的作用是提高抽速和前级泵的真空度。罗茨泵在与前级泵连接的中配需配备旁通阀,这样可以有效的保护罗茨泵,如果前级泵的抽气不稳定或者其他因素导致整个机组的工作不正常带有旁通阀的罗茨泵此时会起到保护罗茨泵的作用,从而延长整个真空机组的寿命。在选择罗茨水环真空机组的时候需要注意的是罗茨泵的易损件密封方式是哪一种,机械密封的方式,可以有效的提高罗茨泵的工作效率,如果罗茨泵的密封方式选择轴套密封的话工作效率则会有效降低,在选择罗茨泵的时候需要特别注意。以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。专业售卖真空泵溢流阀盖随着工业的飞速生长,真空陪伴偏紧张的...