其绝缘层中的电荷累积会生成感生电场,进而影响梳齿电容的电场分布,从而引起辐射加速度(辐射引入的加速度变量),致使MEMS加速度计输出发生漂移,所以1MEMS加速度计的辐射加速度可以从以下几方面考虑:a)从结构上说,可以改变几何设计,移除可移动极板附近的绝缘体或加大绝缘体与极板之间的距离;b)从电荷导出角度说,可以在绝缘体上接入导体,从而达到绝缘体累积电荷消除的效果;c)从材料特性角度说,可以改用正电荷俘获密度更低的绝缘体材料。4结论通过上文分析,得出以下认识:MEMS加速度计表头在钴源或质子等辐照下失效机理为绝缘层存在充电效应,产生的正电荷积累影响了加速度计内部电场,随着正电荷的不断积...