酸洗是清洁表面的一种有效方法。杂质和大约1至2µm厚的表层被溶解。相关酸洗参数,如染色剂浓度、温度或酸洗时间,必须严格遵守,以避免过度酸洗。酸洗后,必须集中冲洗,以去除酸洗液的所有残余物。酸洗过程只能略微改变表面粗糙度。电抛光是金属选择性阳极通过使用DC电源溶解到电解液中。在这种情况下,通常去除表面12至15µm的颗粒,以产生结晶的纯净表面。为均匀地去除表面,必须频繁地制造适合于部件的电极。这使得过程变得复杂起来。此外,CF密封面必须被覆盖,因为作为边缘,电场强度局部增大,从而导致材料去除增加。在UHV用户中,该过程是有争议的。对氢进入表面或通过电解液残余物进入表面上进行了讨论。如酸洗一样,在...