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并向控制装置10输出检测到的温度信息。此外，温度检测部11也可以不仅检测试样保持件3的温度，还检测保持于试样保持件3的试样t的温度、真空室2的内部空间的温度。在真空室2的上部设有离子照射源5。作为离子照射源5，例如能够使用通过放电使氩气离子化而放出氩离子的气体离子。离子照射源5向真空室2的内部空间中的保持于试样保持件3的试样t照射离子束l1。另外，离子照射源5与电源12相连接。电源12对离子照射源5施加电压。另外，电源12与控制装置10相连接，并被控制装置10控制。并且，排气泵13经由配管与真空室2相连接。排气泵13与控制装置10相连接，并被控制装置10控制。并且，通过排气泵13驱动，...
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