轮廓仪的物镜知多少? 白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理，以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等） 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和集体，特征图形的位置和数量等） 白光干涉系统基于无限远显微镜系统，通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。 因此物镜是轮廓仪****的部件， 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求，为了满足各种精度的需求，需要提供各种物镜，例如标配的10×， 还有2.5×，5×，20×，50×，...

轮廓仪的性能 测量模式 ： 移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI） 样 品 台 ： 150mm/200mm/300mm 样品台（可选配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5° 可选手动/电动样品台 CCD 相机像素： 标配：1280×960 视场范围： 560×750um（10×物镜） 具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机 光学系统： 同轴照明无限远干涉成像系统 光 源： 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手动...

比较大视场Thefilm3D以10倍物镜优异地提供更寛广的2毫米视野，其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要，更进一步减少总体成本。手动式物镜转盘能一次搭载四组物镜，能满足需要多种倍率物镜交替使用的测量应用。索取技术资料索取报价性能规格厚度范围,WSI50nm-10mm厚度范围,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %电脑要求机械规格Z范围100mmPiezo(压电)范围500μmXY平台类型手动或自动XY平台范围100mmx100mm相机2592x1944(5百万像素)系统尺寸，宽x深x高300mmx300mmx550mm系统重量15kg物镜1(NikonCFICEp...

轮廓仪在集成电路的应用 封**ump测量 视场：72*96（um）物镜：干涉50X 检测位置：样品局部 面减薄表面粗糙度分析 封装：300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D显示；线粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，… 器件多层结构台阶高 MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析 激光隐形切割工艺控制 世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成，**地缩 短了激光槽工艺在线检测的时间，避免人工操作带来的一致性，可靠性问题 欢迎咨询。 LED光源通过多***盘（MPD）和物镜聚焦到样品...

轮廓仪是用容易理解的机械技术测量薄膜厚度。它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜，包括不透明的厚金属膜。更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。(有关我们的低成本光学轮廓仪的資訊，请点击这里).获取反射光谱指南然而轮廓仪也有不足之处。首先，样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度，而小坎通常无法很标准(见图)。这样，标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。与此相比，光谱反射仪使用非接触技术，不需要任何样本准备就可以测量厚度。只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和折射率。光谱反射仪还可以测量多层薄膜。轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表...