轮廓仪的物镜知多少? 白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理,以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括: 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等) 几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的...
掩模对准系统:EVG的发明,例如1985年世界上较早的拥有底面对准功能的系统,开创了顶面和双面光刻,对准晶圆键合和纳米压印光刻的先例,并设定了行业标准。EVG通过不断开发掩模对准器产品来增强这些**光刻技术,从而在这些领域做出了贡献。 EVG的掩模对...
水平X轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。 水平Y轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时...
纳米压印应用三:连续性UV纳米压印 EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台,可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从比较大50 mm x 50 mm的小模具到比较大300 mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。...