激光干涉仪的用途
SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。
激光干涉仪的工作原理
激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，然后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
激光器的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量及寿命等指标参数，都关系着激光干涉仪的**终性能。其中激光频率是激光干涉仪**基本的参数，其频率(波长)的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。 XL-80激光干涉仪
激光干涉仪主要是做什么的呢?主要有哪些应用呢?
1、 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
2、具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
3、内置国内外通用的标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
4、具有动态测量及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。c XL-80激光干涉仪
产品特点
测量精度高：以激光干涉技术为**，分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
激光干涉仪 主要特点 1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 3. 可选的无线遥控传感器**长的控制距离可到25米 4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性 5. 全套系统重量*15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间 7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。 8、激光干涉仪的光源——激光，具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。 9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
激光干涉仪是激光的应用之一，它以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪除了可以用来测量长度以外，如果配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
未来，激光干涉仪可从光源、探测器、信号处理系统、光学系统等方面进行发展，从测量数据的可靠性、精确性，以及测量仪器的便携性等，不断改善激光干涉仪的各项性能。
下面简要介绍一下激光干涉仪在几个领域的应用情况。1、数控机床检定中的应用
随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的质量、高精度的检测方法。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频激光干涉仪应用**多。
2、位移传感器
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。 XL-80激光干涉仪
XL-80激光干涉仪
这些影响激光干涉仪的因素，你们知道么
1、大气折射率
2、激光频率稳定性：在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。
3、余弦误差：在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
4、死程误差：在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
5、细分误差：在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
6、脉冲当量误差：激光干涉仪显示的**小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
7、阿贝误差：为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。 XL-80激光干涉仪
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